Leybold PHOENIX Quadro 氦氣測漏儀｜180° 磁區質譜儀、真空模式 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s、觸控螢幕、HDMI、41 kg

Leybold PHOENIX Quadro 氦氣質譜測漏儀：真空模式 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s

產品概述

PHOENIX Quadro 是 Leybold PHOENIX 系列的氦氣質譜測漏儀，以 180° 磁區質譜儀量測氦（也可量測氫），可做真空模式與吸槍模式（需搭配吸槍管線）。原廠將其定位於分析儀器、醫療器材、食品包裝、汽車與航空等工業生產線，以及半導體與平面顯示器設備。具觸控螢幕，可存多組參數並複製到其他 PHOENIX 測漏儀，HDMI 介面可外接顯示器，另有 USB 埠。乾式前級泵（SCROLLVAC 3 Plus）的 PHOENIX Quadro Dry Plus 與模組化的 PHOENIX Vario，可另行詢價。

核心規格

• 最小可測氦洩漏率：真空模式 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s；吸槍模式 < 1×10⁻⁹ mbar·l/s（依吸槍管線與環境）
• 最小可測氫洩漏率：真空模式 ≤ 1×10⁻⁸ mbar·l/s；吸槍模式 < 1×10⁻⁷ mbar·l/s
• 洩漏率顯示範圍：1×10⁻¹²～1×10⁻¹ mbar·l/s
• 最大入口壓力：15 mbar；搭配分流泵組 1000 mbar
• 抽氣速率：抽真空時 2.5 m³/h（50 Hz）、3.0 m³/h（60 Hz）；真空模式氦抽速 FINE 1.2 l/s、ULTRA 超過 3.1 l/s
• 反應與啟動：洩漏訊號時間常數 < 1 秒；開機啟動 ≤ 110 秒
• 質譜儀：180° 磁區；2 支釔／銥長壽命陰極；可測質量 2、3、4 amu
• 接口：入口 DN 25 ISO-KF；前級泵接口 2 × DN 25 ISO-KF
• 電源：EU 230 V 50／60 Hz（250000V02）；US 115 V 60 Hz（251000V02）；JP 100 V 50／60 Hz（251100V02）
• 尺寸重量：495 × 475 × 318 mm；41 kg

應用

• 真空腔體、管路與零組件的氦氣洩漏檢測。
• 半導體與平面顯示器設備的查漏與維護。

規格依 Leybold 原廠 PHOENIX 系列型錄 3610 0460 02 Technical data（leybold.com，2026-10-24 查詢）。