Leybold PHOENIX Quadro ヘリウムリークディテクタ｜180° 磁場偏向型質量分析計、真空法 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s、タッチ画面、HDMI、41 kg

Leybold PHOENIX Quadro ヘリウムリークディテクタ：真空法 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s

製品概要

PHOENIX Quadro は Leybold PHOENIX シリーズのヘリウムリークディテクタで、180° 磁場偏向型質量分析計でヘリウムを測定し（水素も測定可）、真空法とスニッファー法（スニッファーラインが必要）に対応します。メーカーは分析機器、医療機器、食品包装、自動車、航空などの工業生産ライン、および半導体・フラットパネルディスプレイ装置向けと位置付けています。タッチ画面を備え、複数のパラメータセットを保存して他の PHOENIX リークディテクタにコピーでき、HDMI インターフェースで外部モニタを接続でき、USB ポートも備えます。ドライ補助ポンプ（SCROLLVAC 3 Plus）搭載の PHOENIX Quadro Dry Plus と、モジュール式の PHOENIX Vario も別途お見積りいたします。

主な仕様

• 最小可検ヘリウムリーク量：真空法 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s；スニッファー法 < 1×10⁻⁹ mbar·l/s（スニッファーラインと環境による）
• 最小可検水素リーク量：真空法 ≤ 1×10⁻⁸ mbar·l/s；スニッファー法 < 1×10⁻⁷ mbar·l/s
• リーク量表示範囲：1×10⁻¹²～1×10⁻¹ mbar·l/s
• 最大入口圧力：15 mbar；分流ポンプセット使用時 1000 mbar
• 排気速度：排気時 2.5 m³/h（50 Hz）、3.0 m³/h（60 Hz）；真空法のヘリウム排気速度 FINE 1.2 l/s、ULTRA 3.1 l/s 超
• 応答と起動：リーク信号の時定数 < 1 秒；起動時間 ≤ 110 秒
• 質量分析計：180° 磁場偏向型；イットリウム／イリジウム長寿命カソード 2 本；測定質量 2、3、4 amu
• 接続口：入口 DN 25 ISO-KF；補助ポンプ接続口 2 × DN 25 ISO-KF
• 電源：EU 230 V 50／60 Hz（250000V02）；US 115 V 60 Hz（251000V02）；JP 100 V 50／60 Hz（251100V02）
• 寸法・質量：495 × 475 × 318 mm；41 kg

用途

• 真空チャンバー、配管、部品のヘリウムリーク検査。
• 半導体・フラットパネルディスプレイ装置のリークチェックと保守。

仕様は Leybold メーカーの PHOENIX シリーズカタログ 3610 0460 02 Technical data（leybold.com、2026-10-24 確認）に基づきます。