Leybold PHOENIX Quadro 氦气检漏仪｜180° 磁偏转质谱仪、真空模式 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s、触摸屏、HDMI、41 kg

Leybold PHOENIX Quadro 氦质谱检漏仪：真空模式 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s

产品概述

PHOENIX Quadro 是 Leybold PHOENIX 系列的氦质谱检漏仪，以 180° 磁偏转质谱仪测量氦（也可测量氢），可做真空模式与吸枪模式（需搭配吸枪管线）。原厂将其定位于分析仪器、医疗器械、食品包装、汽车与航空等工业生产线，以及半导体与平板显示设备。具触摸屏，可存多组参数并复制到其他 PHOENIX 检漏仪，HDMI 接口可外接显示器，另有 USB 端口。干式前级泵（SCROLLVAC 3 Plus）的 PHOENIX Quadro Dry Plus 与模块化的 PHOENIX Vario，可另行询价。

核心规格

• 最小可检氦泄漏率：真空模式 ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s；吸枪模式 < 1×10⁻⁹ mbar·l/s（依吸枪管线与环境）
• 最小可检氢泄漏率：真空模式 ≤ 1×10⁻⁸ mbar·l/s；吸枪模式 < 1×10⁻⁷ mbar·l/s
• 泄漏率显示范围：1×10⁻¹²～1×10⁻¹ mbar·l/s
• 最大入口压力：15 mbar；搭配分流泵组 1000 mbar
• 抽气速率：抽真空时 2.5 m³/h（50 Hz）、3.0 m³/h（60 Hz）；真空模式氦抽速 FINE 1.2 l/s、ULTRA 超过 3.1 l/s
• 响应与启动：泄漏信号时间常数 < 1 秒；开机启动 ≤ 110 秒
• 质谱仪：180° 磁偏转；2 支钇／铱长寿命阴极；可测质量 2、3、4 amu
• 接口：入口 DN 25 ISO-KF；前级泵接口 2 × DN 25 ISO-KF
• 电源：EU 230 V 50／60 Hz（250000V02）；US 115 V 60 Hz（251000V02）；JP 100 V 50／60 Hz（251100V02）
• 尺寸重量：495 × 475 × 318 mm；41 kg

应用

• 真空腔体、管路与零部件的氦气泄漏检测。
• 半导体与平板显示设备的检漏与维护。

规格依据 Leybold 原厂 PHOENIX 系列型录 3610 0460 02 Technical data（leybold.com，2026-10-24 查询）。