Leybold PHOENIX Quadro เครื่องตรวจรั่วฮีเลียม | แมสสเปกโตรมิเตอร์แบบ 180° magnetic sector, โหมดสุญญากาศ ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s, จอสัมผัส, HDMI, 41 kg

Leybold PHOENIX Quadro เครื่องตรวจรั่วฮีเลียมแบบแมสสเปกโตรมิเตอร์: โหมดสุญญากาศ ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

PHOENIX Quadro เป็นเครื่องตรวจรั่วฮีเลียมแบบแมสสเปกโตรมิเตอร์ในซีรีส์ PHOENIX ของ Leybold วัดฮีเลียม (และไฮโดรเจนได้) ด้วยแมสสเปกโตรมิเตอร์แบบ 180° magnetic sector ทำงานได้ทั้งโหมดสุญญากาศและโหมดสนิฟเฟอร์ (ต้องใช้สายสนิฟเฟอร์) ผู้ผลิตวางตำแหน่งสำหรับสายการผลิตอุตสาหกรรม เช่น เครื่องมือวิเคราะห์ อุปกรณ์การแพทย์ บรรจุภัณฑ์อาหาร ยานยนต์ และอากาศยาน รวมถึงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และจอแสดงผลแบบแบน มีจอสัมผัส เก็บพารามิเตอร์ได้หลายชุดและคัดลอกไปยังเครื่องตรวจรั่ว PHOENIX เครื่องอื่นได้ พอร์ต HDMI ต่อจอภายนอกได้ และมีพอร์ต USB รุ่น PHOENIX Quadro Dry Plus ที่ใช้ปั๊มขั้นต้นแบบแห้ง (SCROLLVAC 3 Plus) และรุ่นโมดูลาร์ PHOENIX Vario กรุณาสอบถามราคาแยก

สเปกหลัก

• อัตรารั่วฮีเลียมต่ำสุดที่ตรวจได้: โหมดสุญญากาศ ≤ 5×10⁻¹² mbar·l/s; โหมดสนิฟเฟอร์ < 1×10⁻⁹ mbar·l/s (ขึ้นกับสายสนิฟเฟอร์และสภาพแวดล้อม)
• อัตรารั่วไฮโดรเจนต่ำสุดที่ตรวจได้: โหมดสุญญากาศ ≤ 1×10⁻⁸ mbar·l/s; โหมดสนิฟเฟอร์ < 1×10⁻⁷ mbar·l/s
• ช่วงแสดงอัตรารั่ว: 1×10⁻¹²–1×10⁻¹ mbar·l/s
• ความดันขาเข้าสูงสุด: 15 mbar; 1000 mbar เมื่อใช้ชุดปั๊มแยกการไหล (partial flow)
• อัตราการสูบ: ขณะดูดสุญญากาศ 2.5 m³/h (50 Hz), 3.0 m³/h (60 Hz); อัตราสูบฮีเลียมในโหมดสุญญากาศ FINE 1.2 l/s, ULTRA มากกว่า 3.1 l/s
• การตอบสนองและการเริ่มทำงาน: ค่าคงที่เวลาของสัญญาณรั่ว < 1 วินาที; เริ่มทำงานหลังเปิดเครื่อง ≤ 110 วินาที
• แมสสเปกโตรมิเตอร์: 180° magnetic sector; แคโทดอิตเทรียม/อิริเดียมอายุยาว 2 ชุด; วัดมวลได้ 2, 3, 4 amu
• ข้อต่อ: ทางเข้า DN 25 ISO-KF; ข้อต่อปั๊มขั้นต้น 2 × DN 25 ISO-KF
• แหล่งจ่ายไฟ: EU 230 V 50/60 Hz (250000V02); US 115 V 60 Hz (251000V02); JP 100 V 50/60 Hz (251100V02)
• ขนาดและน้ำหนัก: 495 × 475 × 318 mm; 41 kg

การใช้งาน

• ตรวจรั่วฮีเลียมของห้องสุญญากาศ ระบบท่อ และชิ้นส่วน
• ตรวจรั่วและบำรุงรักษาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และจอแสดงผลแบบแบน

สเปกอ้างอิงจาก Technical data ในแคตตาล็อกซีรีส์ PHOENIX 3610 0460 02 ของผู้ผลิต Leybold (leybold.com, ตรวจสอบเมื่อ 2026-10-24)